SCREEN アドバンストシステムソリューションズ Ristと半導体ウエハーやプリント基板向けの次世代検査システムの開発で連携、3 カ年計画で「次世代型 AI 検査モデル」を開始 外観検査技術の高度化と社会実装の加速を実現
株式会社 SCREEN アドバンストシステムソリューションズ（以下、SCREEN AS）は、株式会社 Ristと半導体ウエハーやプリント基板向けの次世代検査システムの開発において連携し、3 カ年計画で「次世代型 AI 検査モデル」の開発を開始したことを発表した。次世代検査システムは多品種少量生産の現場でも最小限のチューニング作業高い検査精度を実現する。
近年、半導体ウエハーやプリント基板の回路の微細化が急速に進むと同時に、検査効率や検査精度の向上が求められている。この要望に対し、SCREEN ASは半導体ウエハーやプリント基板検査装置向けの外観検査 AI 開発のリーディングカンパニーとして、AI による虚報フィルタリングシステムなどの検査・計測 AI ソリューションを展開している。
半導体ウエハーやプリント基板向けの従来の外観検査 AI の活用には、欠陥基準や素材、製造工程、製品種別ごとに学習データを準備し、個別の AI モデルを作成することが必要とされている。また、データの準備やモデルの作成と維持に必要とされるチューニング作業には大きな労力とコストがかかり、外観検査 AI の普及を妨げる要因となっている。
これらの課題解決に向けて SCREEN ASでは、従来の半分の学習データ量で高精度な AI モデルを作成するための独自技術（特許出願中）や、大規模で高精度な AI モデルを製造現場で活用可能にする知識蒸留技術など、外観検査の現場で直面するさまざまな課題を解決するための技術開発と、その製品への適用を進めている。さらにこれらの技術を検査以外の分野でも活用できるよう、ノーコードで高品質な画像処理AIを開発できるソフトウエアとして、2024年８月にはSARIA をリリースしている。
一方Ristは、製造現場での外観検査の省人化・省力化を加速させるべく、外観検査AIのスピーディーな現場導入に向けて、最小限のチューニング作業で高い検査精度を実現する「次世代型 AI検査モデル」の研究開発を独自に進めていた。
今回の技術連携により、SCREEN ASが持つ外観検査AI開発におけるノウハウや豊富なデータと、Rist が持つAI エンジニアリングスキルを組み合わせ、「次世代型 AI 検査モデル」を確立する。この技術を次世代外観検査システムに搭載することで、両社共通のビジョンである「外観検査技術の高度化と社会実装の加速」を実現する。